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濺射薄膜壓力傳感器的周邊固支結(jié)構(gòu)膜片設(shè)計(jì)

發(fā)布時(shí)間:2022-3-22??????發(fā)布人:澤天傳感??????點(diǎn)擊:

1、基本原理

采用高彈性不銹鋼材料加工成圓杯形彈性體,彈性體的底面加工成薄片(膜片),其厚度h的設(shè)計(jì)與壓力測(cè)量的范圍有關(guān)。

2、彈性體設(shè)計(jì)

1)設(shè)計(jì)理論

周邊固支結(jié)構(gòu)的膜片在受壓力作用時(shí)的應(yīng)力、應(yīng)變分布。

徑向應(yīng)力:σr= 3P[R2 (1+μ) –r2(3+μ) ]/8h2  …………………(1)

徑向應(yīng)變:εr= 3P(1-μ2) (R2 -3 r2 )/8Eh2 ………………………(2)

式中:P—均布?jí)毫Γ琍a;h—膜片厚度,cm;R—膜片半徑,cm;μ—材料的泊松比;E—材料的彈性模量,Pa;r—受力位置。

切向應(yīng)力:σt= 3P[R2 (1+μ) –r2(1+3μ) ]/8h2 …………………(3)

切向應(yīng)變:εt= 3P(1-μ2) (R2 -r2 )/8Eh2  ………………………(4)

在膜片中心(r=0)處,切向應(yīng)力與徑向應(yīng)力相等,切向應(yīng)變與徑向應(yīng)變相等,而且具有正的最大值:

σro=σto=3PR2(1+μ)/8h2   …………………………(5)

εro=εto=3PR2(1-μ2)/8Eh2 …………………………(6)

在膜片邊緣(r=R)處,徑向應(yīng)力、切向應(yīng)力和徑向應(yīng)變都達(dá)到負(fù)的最大值,而切向應(yīng)變?yōu)榱悖?

σra= -3PR2/4h2 ……………………………………(7)

σta= -3μPR2/4h2  …………………………………(8)

εra=εto=3PR2(1-μ2)/4h2   …………………………(9)

εta=0………………………………………………(10)

在膜片中心處,具有最大繞度:ωo=ωmax=3p(1-μ2)R4/(16Eh3)………………(11)

使膜片變形的平面等效應(yīng)力:σeg=   σr2+σt2-σrσt     …………………………(12)

2)尺寸的確定

設(shè)計(jì)采用高強(qiáng)度、高彈性、彈性模量穩(wěn)定、耐腐蝕性強(qiáng)的不銹鋼作為彈性材料。材料彈性限σe=1100×106 Pa;μ=0.272;E=195×109 Pa。彈性體尺寸設(shè)計(jì)應(yīng)盡可能小,但是由彈性膜片理論可知,平膜片變形時(shí)的最大絕對(duì)非線性誤差Δωmax發(fā)生在擾度為0.58ωm處。最大相對(duì)非線性誤差為Δωmax/ωm,其值只與ωm/h比值有關(guān),ωm/h較大時(shí),非線性嚴(yán)重。另外由(11)式可知,要使膜片在應(yīng)力作用下得到一定的變形量,減小膜片直徑的同時(shí)必須減薄膜片厚度,過薄的膜片在加工時(shí)難以保證平行度,平行度下降將導(dǎo)致傳感器非線性急劇增大。雖然可以設(shè)計(jì)信號(hào)處理電路對(duì)傳感器的非線性進(jìn)行補(bǔ)償,使輸出電信號(hào)與壓力成線性關(guān)系,但不是真實(shí)應(yīng)力變化的反映。因此,設(shè)計(jì)膜片有效半徑R=0.55 cm;膜片厚度h=0.029cm;彈性體最大外徑為1.9 c m。將材料參數(shù)代入(7)式,可求得作用在膜片上的1M Pa均布?jí)毫Γ稍谀て吘壧幃a(chǎn)生最大徑向應(yīng)力:

σra= -3PR2/4h2   =-270×106 Pa  ………………………………(13)

可見σra≤1/4σe,膜片可承受4倍最大測(cè)量壓力的過載,滿足過負(fù)荷指標(biāo)150%的要求。不考慮膜片平行度影響時(shí),測(cè)量最大非線性誤差為0.1%FS。由(11)式可求得膜片在1M Pa壓力下的最大擾度為0.033mm。

3、收縮應(yīng)力參考表

由(13)式可見,當(dāng)傳感器輸出滿量程電信號(hào)時(shí),說明由于燃料的凝固,在膜片邊緣產(chǎn)生了-270×106 Pa的徑向應(yīng)力。同樣,由(8)式可求得傳感器輸出滿量程電信號(hào)時(shí),所反映的膜片邊緣切向應(yīng)力;由(5)式可求得膜片中心的徑向和切向應(yīng)力;由(12)式可求得平面等效應(yīng)力。計(jì)算結(jié)果列入表1。表1  收縮應(yīng)力參考表,注:滿量程輸出電壓YFS等于滿度輸出電壓與零點(diǎn)輸出電壓之差。

輸出(%) 0 20 40 60 80 100
σro(MPa) 0 34.4 68.7 103.1 137.4 171.8
σto(MPa) 0 34.4 68.7 103.1 137.4 171.8
σra(MPa) 0 -54.0 -107.9 -161.9 -215.8 -269.8
σta(MPa) 0 -14.7 29.4 -44.0 -58.7 -73.4

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